A Novel Method for Measuring the Thickness of Quartz Using a Plate Wave Sensor

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資料識別:
A04034144
資料類型:
期刊論文
著作者:
李其源(Lee, Chi-yuan) 陳炳輝(Chen, Ping-hei) 鄭英周(Cheng, Ying-chou) 張培仁(Chang, Pei-zen) 鮑世勇(Pao, Shih-yung) 陳永裕(Chen, Yung-yu) 陳文中(Chen, Wen-jong) 戴慶良(Dai, Ching-liang)
主題與關鍵字:
Plate wave sensor SASW 板波感測器 石英晶片 厚度
描述:
來源期刊:中國機械工程學刊
卷期:25:4 民93.08
頁次:頁321-328
日期:
20040800
來源:
臺灣期刊論文索引系統
管理權:
國家圖書館

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管理單位:知識服務組-期刊
聯絡E-mail:nclper@ncl.edu.tw
電話:02-23619132轉305

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