影響切割裂片品質的因素探討
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- 資料識別：
- A04028624
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 陳貴榮 陳孟群 陳志明 賴志一 譚子陵 江錦忠
- 主題與關鍵字：
- 切割 劃線 刻劃 裂片 街道 基準角度 壓痕 中央裂痕 側向裂痕 斷裂 徑向裂痕 微裂痕 掀離 晶圓背面研磨 Dicing Scribe Break Street Null angle Indentation Median crack Lateral cracks Fracture Radial crack Micro-crack Lift off Backside grinding
- 描述：
- 來源期刊:機械工業
- 卷期:258 民93.09
- 頁次:頁236-247
- 日期：
- 20040900
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
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