Run-to-run Control簡介與APC Framework架構設計
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- 資料識別：
- A04028619
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 徐明照 曹永誠
- 主題與關鍵字：
- 先進製程控制技術 半導體通訊標準 R2R控制器 Advanced process control SECS Run-to-run control
- 描述：
- 來源期刊:機械工業
- 卷期:258 民93.09
- 頁次:頁191-199
- 日期：
- 20040900
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
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