300mm晶圓傳送盒載卸過程中污染粒子產生源對載出晶圓的動態污染分析
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- 資料識別：
- A04028618
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 黃俊文 胡石政 吳宗明
- 主題與關鍵字：
- 晶圓傳送盒 氣狀污染物 計算流體力學 動態模擬 Front opening unified pod FOUP Particulate contamination Dynamic analysis Computational fluid dynamics
- 描述：
- 來源期刊:機械工業
- 卷期:258 民93.09
- 頁次:頁183-190
- 日期：
- 20040900
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
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