MEMS/LIGA製程技術於微型噴孔片之應用
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- 資料識別：
- A04028603
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 沈聖智 王郁仁 李聰瑞 潘正堂 陳易呈 蔡明杰
- 主題與關鍵字：
- 微型噴孔片 光深刻模造技術 微電鑄技術 精密微細射出成型技術 Nozzle plate LIGA Micro-electroforming Micro-precision injection molding with micro structured region
- 描述：
- 來源期刊:機械工業
- 卷期:257 民93.08
- 頁次:頁175-184
- 日期：
- 20040800
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
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