超薄異質複合晶圓製程技術
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- 資料識別：
- A04028598
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 何世賢
- 主題與關鍵字：
- 晶圓異質接合-薄化 離子切割 濺鍍製程 溶膠-凝膠製程 Heterobonding-thinning Crystal ion slicing Sputtering Sol-gel process
- 描述：
- 來源期刊:機械工業
- 卷期:257 民93.08
- 頁次:頁121-125
- 日期：
- 20040800
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
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