非金屬基板異質磊晶鑽石膜製程技術現況
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- 資料識別：
- A04028596
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 張延瑜 謝丞聿
- 主題與關鍵字：
- 鑽石膜 化學氣相沉積 異質磊晶成長 高優選性 偏壓輔助成核 Diamond film Chemical vapor deposition CVD Heteroepitaxial growth High-orientated Bias enhanced nucleation BEN
- 描述：
- 來源期刊:機械工業
- 卷期:257 民93.08
- 頁次:頁102-110
- 日期：
- 20040800
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
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