以射頻磁控濺鍍法在PET基材上沈積氧化鋁薄膜之製備與分析

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資料識別:
A04028239
資料類型:
期刊論文
著作者:
吳芝緯(Wu, Chih-wei) 張立信(Chang, Li-shin) 薛富盛(Shieu, Fu-sheng) 武東星(Wuu, Dong-sing)
主題與關鍵字:
射頻磁控濺鍍 氧化鋁薄膜 塑膠基板 氣體阻隔層 Aluminum oxide thin films Plastic substrate Gas barrier R.F. magnetron sputtering
描述:
來源期刊:興大工程學刊
卷期:15:2 民93.07
頁次:頁109-118
日期:
20040700
來源:
臺灣期刊論文索引系統
管理權:
國家圖書館

授權聯絡窗口

管理單位:知識服務組-期刊
聯絡E-mail:nclper@ncl.edu.tw
電話:02-23619132轉305

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