以矽/氮化矽為材料在砷化鎵基板上鍍製抗反射及高反射鏡
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- 資料識別：
- A04026954
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 謝彩鳳(Hsieh， Tsai-feng) 施銘洲(Shih， M. J.) 黃承揚(Huang， Chen-yang)
- 主題與關鍵字：
- 砷化鎵 光學鍍膜 氮化矽 直流磁控濺鍍 GaAs Optical coating Silicon nitride DC magnetron sputtering
- 描述：
- 來源期刊:光學工程
- 卷期:87 民93.09
- 頁次:頁49-54
- 日期：
- 20040900
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
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