利用Fabry-Perot型抗反射層結構提升極紫外光微影光罩圖形檢視對比度之技術
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- 資料識別：
- A04025190
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 陳學禮 柯宗憲 鄭旭君 朱鐵吉
- 主題與關鍵字：
- 抗反射層 極紫外光微影術 吸收層 緩衝層 Extreme ultraviolet lithography Absorber Buffer layer Antireflective coatings Fabry-perot
- 描述：
- 來源期刊:奈米通訊
- 卷期:11:3 民93.08
- 頁次:頁1-5
- 日期：
- 20040800
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
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