CMOS-MEMS製程技術與電腦輔助微機電系統設計的整合研究
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- 資料識別：
- A04022164
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 鄭英周(Cheng， Ying-chou) 李其源(Lee， Chi-yuan) 張培仁(Chang， Pei-zen) 陳炳輝(Chen， Ping-hei)
- 主題與關鍵字：
- 微機電系統 CMOS-MEMS IC Micro-electro-mechanical system
- 描述：
- 來源期刊:國立臺灣大學工程學刊
- 卷期:91 民93.06
- 頁次:頁21-32
- 日期：
- 20040600
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
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