化學機械研磨製程空氣背壓對晶圓應力分佈和表面不平坦度的影響研究
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- 資料識別：
- A04021649
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 林有鎰(Lin， Yeou-yih)
- 主題與關鍵字：
- 化學機械研磨 空氣背壓 表面不平坦度 有限元素模式 應力 CMP FEM Air back pressure Stress Surface nonuniformity
- 描述：
- 來源期刊:德霖學報
- 卷期:18 民93.06
- 頁次:頁295-302
- 日期：
- 20040600
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
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