高導電率之透明氧化鋅薄膜的濺鍍製程參數最佳化
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- 資料識別：
- A04001755
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 張振旻(Chang， C. M.) 蔡淑儀(Tsai， S. I.) 衛祖賞(Wey， T. S.) 盧陽明(Lu， Y. M.) 黃文星(Hwang， W. S.)
- 主題與關鍵字：
- 氧化鋅薄膜 電阻率 穿透率 沉積速率 Zine oxide film Resistivity Transmittance Deposition rate
- 描述：
- 來源期刊:材料科學與工程
- 卷期:36:1 民93.03
- 頁次:頁31-35
- 日期：
- 20040300
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
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