高導電率之透明氧化鋅薄膜的濺鍍製程參數最佳化

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資料識別:
A04001755
資料類型:
期刊論文
著作者:
張振旻(Chang, C. M.) 蔡淑儀(Tsai, S. I.) 衛祖賞(Wey, T. S.) 盧陽明(Lu, Y. M.) 黃文星(Hwang, W. S.)
主題與關鍵字:
氧化鋅薄膜 電阻率 穿透率 沉積速率 Zine oxide film Resistivity Transmittance Deposition rate
描述:
來源期刊:材料科學與工程
卷期:36:1 民93.03
頁次:頁31-35
日期:
20040300
來源:
臺灣期刊論文索引系統
管理權:
國家圖書館

授權聯絡窗口

管理單位:知識服務組-期刊
聯絡E-mail:nclper@ncl.edu.tw
電話:02-23619132轉305

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