沉積二氧化矽薄膜之化學氣相控制
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- 資料識別：
- A04001524
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 薛漢鼎 翁敏航 林育德 湯淵富 蔡來福 洪茂峰 戴寶通
- 主題與關鍵字：
- 非均勻性 奈米壓痕 應力 硬度 Ununiformity Nano-identation Stress Hardness
- 描述：
- 來源期刊:奈米通訊
- 卷期:11:1 民93.02
- 頁次:頁21-30
- 日期：
- 20040200
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
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