利用感應耦合電漿於室溫沉積高品質微晶矽薄膜
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- 資料識別：
- A04001523
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 謝嘉民 賴一凡 戴寶通 吳嘉鴻 吳耀銓
- 主題與關鍵字：
- 感應耦合電漿 室溫 微晶矽 Microcrystalline silicon Inductively coupled plasma Room-temperature
- 描述：
- 來源期刊:奈米通訊
- 卷期:11:1 民93.02
- 頁次:頁17-20
- 日期：
- 20040200
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
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