微系統製程技術發展

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資料識別:
A04001403
資料類型:
期刊論文
著作者:
林郁欣(Lin, Yu-hsin) 胡一君(Hu, Yi-chiuen) 周曉宇(Chou, Hsiao-yu)
主題與關鍵字:
微系統製程技術 系統化微米 奈米製程
描述:
來源期刊:科儀新知
卷期:25:4=138 民93.02
頁次:頁62-72
日期:
20040200
來源:
臺灣期刊論文索引系統
管理權:
國家圖書館

授權聯絡窗口

管理單位:知識服務組-期刊
聯絡E-mail:nclper@ncl.edu.tw
電話:02-23619132轉305

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