奈米轉印製程與設備技術發展現況介紹
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- 資料識別：
- A04020197
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 陳釧鋒
- 主題與關鍵字：
- 奈米轉印微影技術 熱壓成形奈米轉印微影技術 步進式快閃轉印微影技術 Nanoimprint lithography NIL Hot embossing-Nanoimprint lithography HE-NIL Step and Flash imprint lithography S-FIL
- 描述：
- 來源期刊:機械工業
- 卷期:255 民93.06
- 頁次:頁151-162
- 日期：
- 20040600
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
授權聯絡窗口
- 管理單位：知識服務組-期刊
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