晶圓超精密輪磨技術探討
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- 資料識別：
- A04020193
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 王文瑞
- 主題與關鍵字：
- 超精密磨床 延性輪磨 磨削痕跡 Ultra precision grinder Ductile mode grinding Grinding mark
- 描述：
- 來源期刊:機械工業
- 卷期:255 民93.06
- 頁次:頁115-124
- 日期：
- 20040600
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
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