CVD鑽石薄膜平坦化技術--熱化學拋光法製程研究
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- 資料識別：
- A04020182
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 邱思齊 王興民
- 主題與關鍵字：
- 鑽石薄膜 平坦化 化學氣相沉積鑽石薄膜 熱化學拋光法 CVD CVDD Chemical vapor deposition diamond films Thermo-chemical polishing
- 描述：
- 來源期刊:機械工業
- 卷期:254 民93.05
- 頁次:頁168-173
- 日期：
- 20040500
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
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