不同粉徑Al-Si-Cu靶長時間使用後濺鍍薄膜之特性研究
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- 資料識別：
- A04016911
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 陳楷林 溫志中 陳泓政 賴明雄 邱思議 鄭楚丕
- 主題與關鍵字：
- 濺鍍靶材 薄膜表面型態 薄膜電阻 Sputtering target Al-Si-Cu Surface morphology Resistance Target orientation
- 描述：
- 來源期刊:粉末冶金會刊
- 卷期:29:2 民93.05
- 頁次:頁105-110
- 日期：
- 20040500
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
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