使用TE兦模式微波之磁旋諧振電漿/離子源之研究發展
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- 資料識別：
- A04016904
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 甯逢春(Ning， Fung-truen) 胡瑗(Hu， Yuan) 林滄浪(Lin， Tsang-lang)
- 主題與關鍵字：
- 微波電漿 導波管 微波耦合器
- 描述：
- 來源期刊:真空科技
- 卷期:16:4 民93.04
- 頁次:頁51-58
- 日期：
- 20040400
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
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