熱處理對平面顯示器用鋁合金薄膜特性之研究
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- 資料識別：
- A04016903
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 陳家驊(Chen， C. H.) 黃信二(Huang， H. E.) 顧鈞豪(Koo， C. H.)
- 主題與關鍵字：
- 平面顯示器 鋁鈧 鋁釹 靶材 濺鍍薄膜 電阻率 Flat panel displays Al-Sc Al-Nd Target Sputtering thin film Resistivity
- 描述：
- 來源期刊:真空科技
- 卷期:16:4 民93.04
- 頁次:頁43-50
- 日期：
- 20040400
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
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