電解拋光技術於半導體製程上的應用
推薦分享
資源連結
連結到原始資料 (您即將開啟新視窗離開本站)後設資料
- 資料識別：
- A04015705
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 林春宏 吳清吉 李金揚 張加強
- 主題與關鍵字：
- 電解拋光技術 半導體製程 無應力拋光 生醫材料 Electropolishing Semiconductor process Stress free polishing Bio-material
- 描述：
- 來源期刊:機械工程
- 卷期:249 民93.06
- 頁次:頁84-93
- 日期：
- 20040600
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
授權聯絡窗口
- 管理單位：知識服務組-期刊
聯絡E-mail：nclper@ncl.edu.tw
電話：02-23619132轉305
