電子束刻版機在奈米光儲存及奈米光子技術上的應用
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- 資料識別：
- A04015274
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 陳建洋 蘇建彰 楊詔中 黃世傑 陳景宜 石志聰 李孝文
- 主題與關鍵字：
- 電子束刻版機 奈米光儲存 奈米光子 微影技術 Electron beam recorder Lithography Tera-bytes optical storage Nano-photomics
- 描述：
- 來源期刊:光學工程
- 卷期:86 民93.06
- 頁次:頁41-52
- 日期：
- 20040600
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
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