平面顯示器用鋁合金靶材鍍膜特性之研究
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- 資料識別：
- A04014914
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 陳家驊(Chen， C. H.) 黃信二(Huang， H. E.) 王漢能(Wang， H. N.) 李訓杰(Lee， S. J.) 葉建宏(Yeh， C. H.)
- 主題與關鍵字：
- 鋁鈧合金 鋁釹合金 靶材 濺鍍薄膜 反射率 Al-Sc alloy Al-Nd alloy Target Sputtering thin film Reflection
- 描述：
- 來源期刊:材料科學與工程
- 卷期:36:2 民93.06
- 頁次:頁79-85
- 日期：
- 20040600
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
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