低光擾掃描電容顯微術在電性接面分析之應用

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資料識別:
A04014067
資料類型:
期刊論文
著作者:
張茂男 陳志遠 萬文武 梁正宏
主題與關鍵字:
光擾 掃描電容顯微鏡 熱處理 離子佈植 Scanning capacitance microscopy SCM Thermal treatment Ion implantation Photoperturbation
描述:
來源期刊:奈米通訊
卷期:11:2 民93.05
頁次:頁13-19
日期:
20040500
來源:
臺灣期刊論文索引系統
管理權:
國家圖書館

授權聯絡窗口

管理單位:知識服務組-期刊
聯絡E-mail:nclper@ncl.edu.tw
電話:02-23619132轉305

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