低光擾掃描電容顯微術在電性接面分析之應用
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- 資料識別：
- A04014067
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 張茂男 陳志遠 萬文武 梁正宏
- 主題與關鍵字：
- 光擾 掃描電容顯微鏡 熱處理 離子佈植 Scanning capacitance microscopy SCM Thermal treatment Ion implantation Photoperturbation
- 描述：
- 來源期刊:奈米通訊
- 卷期:11:2 民93.05
- 頁次:頁13-19
- 日期：
- 20040500
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
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