以磁控濺射法濺鍍二氧化矽薄膜表面粒徑之研究
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- 資料識別：
- A04011157
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 黃承揚 朱正煒
- 主題與關鍵字：
- 磁控濺射 粒徑控制 粗糙指數 自仿射分形生長 Magnetron sputtering Particle size control Roughness exponent Self affine surfaces growth
- 描述：
- 來源期刊:工業材料
- 卷期:209 民93.05
- 頁次:頁113-121
- 日期：
- 20040500
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
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