於奈米氧化鋁研磨液中添加界面活性劑對化學機械研磨的影響
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- 資料識別：
- A04009696
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 蔡子萱(Tsai， Tzu-hsuan)
- 主題與關鍵字：
- 奈米氧化鋁研磨液 界面活性劑 化學機械研磨 Chemical mechanical polishing Nano-alumina slurry Surfactant
- 描述：
- 來源期刊:光武學報
- 卷期:27 民93.03
- 頁次:頁93-103
- 日期：
- 20040300
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
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