控制電漿位置以成長類鑽奈米尖錐
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- 資料識別：
- A03005921
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 林啟瑞(Lin， C. R.) 周上智(Chou， S. C.) 洪新欽(Hung， H. C.) 許庭瑋(Hsu， T. W.)
- 主題與關鍵字：
- 電漿鞘 類鑽碳尖錐 電位降 微波電漿化學氣相沉積 Microwave plasma chemical vapor deposition Plasma sheath Diamond-like carbontip Potential drop
- 描述：
- 來源期刊:材料科學與工程
- 卷期:35:1 民92.03
- 頁次:頁31-35
- 日期：
- 20030300
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
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