基板加熱對濺鍍TaN薄膜微結構及電性之影響
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- 資料識別：
- A03005917
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 盧陽明(Lu， Y. M.) 翁睿哲(Weng， R. J.) 黃文星(Hwang， W. S.)
- 主題與關鍵字：
- 基板溫度 濺鍍 氮化鉭 微結構 電性 Sputtering TaN Substrate temperature Electrical properties Microstructure
- 描述：
- 來源期刊:材料科學與工程
- 卷期:35:1 民92.03
- 頁次:頁1-4
- 日期：
- 20030300
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
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