Low Dielectric Constant Silica Films Prepared by a Templating Method
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- 資料識別：
- A03004057
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 丁致遠(Ting， Chih-Yuan) 吳鎮安(Wu， Chen-an) 萬本儒(Wan， Ben-zu) 吳文發(Wu， Wen-fa)
- 主題與關鍵字：
- Low k materials Porous silica Spin coating Thin film Sol-gel Dielectric constant 模版法 低介電二氧化矽薄膜
- 描述：
- 來源期刊:Journal of the Chinese Institute of Chemical Engineers
- 卷期:34:2 民92.03
- 頁次:頁211-217
- 日期：
- 20030300
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
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