先進晶圓結合製程
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- 資料識別：
- A03053025
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- Lindner，P. Dragoi，V. Farrens，S. Glinsner，T. Hangweier，P.
- 主題與關鍵字：
- 晶圓 結合製程 微機電系統 MEMS
- 描述：
- 來源期刊:微系統暨奈米科技協會會刊
- 卷期:10 民92.11
- 頁次:頁59-62
- 貢獻者：
- 楊紹中
- 日期：
- 20031100
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
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