矽晶圓表面摻雜之離子佈植模擬分析
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- 資料識別：
- A03052230
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 林肇民(Lin， Chao-ming) 劉東弘(Liou， Dong-horng)
- 主題與關鍵字：
- 離子佈植 摻雜 劑量 通道效應 傾斜角 Implantation Doping Dose Channeling effect Tilt angle
- 描述：
- 來源期刊:吳鳳學報
- 卷期:11 民92.05
- 頁次:頁443-449
- 日期：
- 20030500
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
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