Numerical Investigation of the Effect of Conjugate Heat Transfer on Chemical Vapor Deposition for Thin-Film Growth
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- 資料識別：
- A03047369
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 洪祖全(Hung， Tzu-chen) 王曉剛(Wang， Shou-kong) 白寶實(Pei， Bau-shei) 蔡豐智(Tsai， Peter Fengjee)
- 主題與關鍵字：
- Conjugate heat transfer Chemical vapor deposition PISO method Thin film growth 化學氣體沉積 薄膜 成長技術
- 描述：
- 來源期刊:中國機械工程學刊
- 卷期:24:3 民92.06
- 頁次:頁217-227
- 日期：
- 20030600
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
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