Numerical Investigation of the Effect of Conjugate Heat Transfer on Chemical Vapor Deposition for Thin-Film Growth

推薦分享

Share

資源連結

連結到原始資料 (您即將開啟新視窗離開本站)

後設資料

資料識別:
A03047369
資料類型:
期刊論文
著作者:
洪祖全(Hung, Tzu-chen) 王曉剛(Wang, Shou-kong) 白寶實(Pei, Bau-shei) 蔡豐智(Tsai, Peter Fengjee)
主題與關鍵字:
Conjugate heat transfer Chemical vapor deposition PISO method Thin film growth 化學氣體沉積 薄膜 成長技術
描述:
來源期刊:中國機械工程學刊
卷期:24:3 民92.06
頁次:頁217-227
日期:
20030600
來源:
臺灣期刊論文索引系統
管理權:
國家圖書館

授權聯絡窗口

管理單位:知識服務組-期刊
聯絡E-mail:nclper@ncl.edu.tw
電話:02-23619132轉305

引用這筆典藏 引用說明

引用資訊
直接連結