以加權最小平方法補償微影覆蓋之模式誤差

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資料識別:
A03046177
資料類型:
期刊論文
著作者:
洪士程(Horng, Shih-cheng)
主題與關鍵字:
微影覆蓋誤差 步進機 加權最小平方法 最小平方法 Lithograph overlay error Stepper Weighted least square Least square
描述:
來源期刊:親民工商專科學校學報
卷期:8 民92.10
頁次:頁57-65
日期:
20031000
來源:
臺灣期刊論文索引系統
管理權:
國家圖書館

授權聯絡窗口

管理單位:知識服務組-期刊
聯絡E-mail:nclper@ncl.edu.tw
電話:02-23619132轉305

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