以加權最小平方法補償微影覆蓋之模式誤差
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- 資料識別：
- A03046177
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 洪士程(Horng， Shih-cheng)
- 主題與關鍵字：
- 微影覆蓋誤差 步進機 加權最小平方法 最小平方法 Lithograph overlay error Stepper Weighted least square Least square
- 描述：
- 來源期刊:親民工商專科學校學報
- 卷期:8 民92.10
- 頁次:頁57-65
- 日期：
- 20031000
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
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