採用電子束微影的近接效應來製作矽的奈米線結構
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- 資料識別：
- A03045981
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 胡淑芬 翁文慶 宋金龍 翁偉哲 萬裕民
- 主題與關鍵字：
- 電子束微影 近接效應 矽奈米線 單電子電晶體 量子點 Electron-beam lithography Proximity effect Si nanowire Single-electron transistor Quantum dot
- 描述：
- 來源期刊:奈米通訊
- 卷期:10:4 民92.11
- 頁次:頁27-30
- 日期：
- 20031100
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
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