低光擾掃描電容顯微鏡分析技術及其在載子分布分析之應用

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資料識別:
A03044667
資料類型:
期刊論文
著作者:
張茂男(Chang, Mao-nan) 陳志遠(Chen, Chih Yuan) 萬文武(Wan, Wen-wu) 梁正宏(Liang, Jenq-horng) 潘扶民(Pan, Fu-ming)
主題與關鍵字:
低光擾掃描電容顯微鏡 載子濃度分布
描述:
來源期刊:科儀新知
卷期:25:2=136 民92.10
頁次:頁61-67
日期:
20031000
來源:
臺灣期刊論文索引系統
管理權:
國家圖書館

授權聯絡窗口

管理單位:知識服務組-期刊
聯絡E-mail:nclper@ncl.edu.tw
電話:02-23619132轉305

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