高品質複晶矽薄膜電晶體--鎳金屬誘發複晶矽側向成長的機制探討
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- 資料識別：
- A03044662
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 侯綉芳(Hou， Hsiu-fang) 盧棨彬(Lu， Chi-pin) 王澤豪(Wang， Tza-hao) 周立人(Chou， Li-jen)
- 主題與關鍵字：
- 薄膜電晶體液晶顯示器 平面顯示器 鎳金屬 非晶矽薄膜 結晶薄膜
- 描述：
- 來源期刊:科儀新知
- 卷期:25:2=136 民92.10
- 頁次:頁15-22
- 日期：
- 20031000
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
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