射頻微機電元件可靠度和氣密構裝解析
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- 資料識別：
- A03040889
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 刑泰剛
- 主題與關鍵字：
- 微機電系統 射頻 無線通訊 可靠度 氣密 MEMS Radio frequency Wireless communication Reliability Hermetical sealing
- 描述：
- 來源期刊:工業材料
- 卷期:202 民92.10
- 頁次:頁79-84
- 日期：
- 20031000
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
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