多孔性二氧化矽薄膜之電漿處理研究
推薦分享
資源連結
連結到原始資料 (您即將開啟新視窗離開本站)後設資料
- 資料識別：
- A03002309
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 魏大欽 楊忠諺 李益維 巫盛堯
- 主題與關鍵字：
- 介電常數 水氣吸附 電漿改質 多孔二氧化矽 Dielectric constant Moisture uptake Plasma treatment Porous silica
- 描述：
- 來源期刊:奈米通訊
- 卷期:10:1 民92.02
- 頁次:頁14-19
- 日期：
- 20030200
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
授權聯絡窗口
- 管理單位：知識服務組-期刊
聯絡E-mail：nclper@ncl.edu.tw
電話：02-23619132轉305
