類神經網路於半導體平坦化製程預測監控功能之研究
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- 資料識別：
- A03029754
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 田效文(Tien， Shiaw-wen) 王志宏(Wang， Chih-hong)
- 主題與關鍵字：
- 類神經網路 半導體製程平坦化
- 描述：
- 來源期刊:朝陽商管評論
- 卷期:2:2 民92.07
- 頁次:頁103-140
- 日期：
- 20030700
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
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