半導體與微機電的科技結晶--解析CMOS-MEMS技術發展與應用現況
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- 資料識別：
- A03028991
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 鄭英周 戴慶良 張培仁
- 主題與關鍵字：
- 半導體 微機電 CMOS-MEMS CMOS-compatible MEMS
- 描述：
- 來源期刊:零組件雜誌
- 卷期:142 民92.08
- 頁次:頁72-74+76+78+80+82-83
- 日期：
- 20030800
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
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