Molecular Dynamics Simulation of Sputter-deposited Thin Film: A Review
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- 資料識別：
- A03027240
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 黃吉川(Hwang， Chi-chuan) 張自恭(Chang， Jee-gong) 朱訓鵬(Ju， Shin-pon)
- 主題與關鍵字：
- Molecular dynamic simulation Sputter-deposited Thin film 分子動力學
- 描述：
- 來源期刊:中國機械工程學刊
- 卷期:24:4 民92.08
- 頁次:頁309-336
- 日期：
- 20030800
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
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