射頻微機電元件簡介
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- 資料識別：
- A03026082
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 翁敏航 林育德 洪政源 吳宏偉 黃琮暉 邵志偉 戴寶通
- 主題與關鍵字：
- 微機電系統 體微加工 面微加工 濾波器 MEMS Bulk micromachining Surface micromachining Filter
- 描述：
- 來源期刊:奈米通訊
- 卷期:10:3 民92.08
- 頁次:頁36-44
- 日期：
- 20030800
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
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