物理氣相沈積截面型態之數值模擬
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- 資料識別：
- A03026059
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 蔡名詔(Tsai， M. J.) 翁睿哲(Weng， R. J.) 張瓊丹(Chang， C. D.) 黃文星(Hwang， W. S.)
- 主題與關鍵字：
- 物理氣相沈積 薄膜型態 鍍膜模擬 Physical vapor deposition Thin film morphology Film deposition simulation
- 描述：
- 來源期刊:材料科學與工程
- 卷期:35:3 民92.09
- 頁次:頁146-152
- 日期：
- 20030900
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
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