電子束微影技術及其在奈米科技上之應用
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- 資料識別：
- A03025917
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 殷宏林(Yin， Hung-ling) 鄭紹章(Cheng， Shao-chang) 林郁欣(Lin， Yu-hsin) 胡一君(Hu， Yi-chiuen) 周曉宇(Chou， Hsiao-yu)
- 主題與關鍵字：
- 電子束微影技術 奈米科技
- 描述：
- 來源期刊:科儀新知
- 卷期:25:1=135 民92.08
- 頁次:頁56-67
- 日期：
- 20030800
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
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