SF[feb8]-O[feaf]氣體的非等向性矽蝕刻技術
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- 資料識別：
- A03025229
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 陳秀香(Chen， Hsiu-hsiang)
- 主題與關鍵字：
- 乾蝕刻 非等向性 黑色矽 Dry etching Anisotropic Black silicon
- 描述：
- 來源期刊:光學工程
- 卷期:83 民92.09
- 頁次:頁73-78
- 日期：
- 20030900
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
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