晶圓異質接合技術介紹
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- 資料識別：
- A03024511
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 丁嘉仁 賴欣怡
- 主題與關鍵字：
- 異質接合 直接接合 非矽材料 應用 Hetero-material Direct-bonding Non-silicon Application
- 描述：
- 來源期刊:機械工業
- 卷期:245 民92.08
- 頁次:頁138-147
- 日期：
- 20030800
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
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