電解拋光技術於半導體製程上的應用
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- 資料識別：
- A03024463
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 林春宏 吳清吉 李金揚 張加強
- 主題與關鍵字：
- 電解拋光技術 半導體製程 無應力拋光 生醫材料 Electropolishing Semiconductor process Stress free polishing Bio-material
- 描述：
- 來源期刊:機械工業
- 卷期:246 民92.09
- 頁次:頁223-232
- 日期：
- 20030900
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
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