半導體設備工程資料收集技術探討
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- 資料識別：
- A03024458
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 蔡嘉鴻 李正一 楊昌霖 蕭禮明
- 主題與關鍵字：
- 先進製程控制技術 半導體通訊標準 資料頻道 分散式元件物件模型 可擴展標示語言 APC Advanced process control SECS Channel COM+ XML
- 描述：
- 來源期刊:機械工業
- 卷期:246 民92.09
- 頁次:頁156-165
- 日期：
- 20030900
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
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- 管理單位：知識服務組-期刊
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